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2001/7/17(火)から7/19（木）に東京ビックサイトで開催された
第１１回フラットパネルディスプレイ製造技術展に出展致しました。
当ブースへのご来訪、誠にありがとうございました。
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ナノフォーミングとは、LCD用バックライトや高性能カメラのレンズ等々に要求されている精密金型に対して、ヒキフネが新たに開発した電鋳による精密金型の製造プロセスです |
| これまでの電鋳技術でも、金属マスターからの転写であれば原子レベルでの精密な転写が可能でしたが、樹脂やガラスといった非金属マスターからの精密転写は困難なテーマでした。 |
| 今回、ヒキフネが提案するナノフォーミングは、樹脂やシリコンマスターからの転写精度を原子や分子のレベルにまで引き上げ、これまでの電鋳技術を様々な点で進化させた新世紀のための電鋳技術です。 |
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■ナノフォーミング（NF)によるアクリル樹脂マスターの転写例 |
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| ■マスター |
弊社のナノフォーミングTMはアクリル樹脂による機械加工、プレス成形、射出成形、レーザー加工、UV硬化型アクリル樹脂、アクリル上の印刷（一部不可）やブラストによるパターン、及びそれらのハイブリッドなどの加工技術に幅広く対応します。したがって、自由なマスター設計が可能になります。
さらに、マスターの材質も樹脂・シリコンウエハー・真鍮・ニッケル・アルミニウム・ガラスなど様々なものに対応が可能です。
マスターの製作などお気軽にご相談ください。 |
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■ナノフォーミング例 |
| 導光板、偏光板、反射板、フレネルレンズ、マイクロレンズ、回折格子、ピックアップレンズ、ホログラム、装飾模様の転写、微細形状の複製等。 |
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■応用例 |
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・ ＮＦ法の反転金型技術を２回繰り返すことで、マスターに彫った凹型形状を凸型に変換することが容易になります。
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・導光板などの設計では、アクリル樹脂マスターの段階で輝度測定ができるので、これまでの設計期間を大幅に短縮できます。
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・ 貴社のマスター金型やその成型品から、金型の複製が製作可能です。生産能力を向上させたり、金型破損などによって起きる障害をバックアップできます。 |
| （これらのような手法をご希望される場合は、詳細な打ち合わせが必要ですので、必ず事前に、ご相談ください。） |
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■硬度 |
| シリコンウエハーや、樹脂マスターによる金型の表面皮膜硬度は、Ｈｖ800前後と高硬度です。また、金属マスターにおいても、Ni−Co表面皮膜を用いることで硬度を上げることが可能となります。 |
| ■ナノフォーミングの転写精度について |
| 現段階での参考値として、NF法でシリコンウエハー転写をした製品の各種転写精度を測定したデータです。 |
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[データ提供：NTT-AT 先端事業本部 超精密事業部殿] |
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●レーザー顕微鏡による形状測定●
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パターン幅１μｍ高さ1μｍ |
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●NF歪み測定●
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ＰＶ |
| シリコンウエハー |
10nm以下 |
| ＮＦ転写面 |
21nm |
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●NF粗さ測定●
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Ra |
| シリコンウエハー |
0.08nm以下 |
| ＮＦ転写面 |
1.59nm |
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| ■ご注文にあたってのお願い |
ご注文にあたっては、留意して頂きたい事柄があります。
別途留意事項をまとめてありますので、御一読をお願いします。 |
| ■当社での受注扱いについて |
ナノフォーミングについてのご注文は、お取引ごとの試作開発扱いとさせて頂きます。
ご理解、ご協力をよろしくお願い申し上げます。 |
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お問い合わせはこちらまでお願いします。
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株式会社ヒキフネ
超微細パターンプロジェクト
担当：長瀬、井坂
TEL: 03(3696) 1981
FAX: 03(3692) 9178
E-mail:ef@hikifune.com
（弊社までの地図もございますので、ご利用下さい。）
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※この記事は２００１年６月時点のものです。
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